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利用吸附式制氮機制備高純度氮氣的工藝可以分為以下幾個步驟：

空氣壓縮：將空氣進行壓縮，使其達到制氮機的進氣壓力。

氮氣分離：空氣經過制氮機進氣口進入吸附劑層，分離出氧氣和水分等雜質。

氮氣產生：在吸附劑層中，吸附劑會吸附氧氣和水分等雜質，而不吸附氮氣，從而產生高純度氮氣。

吸附劑再生：當吸附劑層中的吸附劑吸附飽和后，需要通過加熱等方式進行再生，使其重新具有吸附氧氣和水分的能力。

氮氣提純：根據需要，可以進行進一步的氮氣提純，例如利用分子篩、活性炭等材料進行氮氣純化處理。

需要注意的是，在制備高純度氮氣時，需要嚴格控制空氣進入制氮機的質量，避免雜質污染。此外，吸附式制氮機的工藝參數和吸附劑的選擇也會影響氮氣純度的提高。

總的來說，利用吸附式制氮機制備高純度氮氣的工藝相對簡單，成本低，能夠滿足多種應用場合的需要。